CVD(化學(xué)氣相沉積)是一種制備薄膜的方法,需要使用氫氣,而氫氣發(fā)生器則是提供氫源的設(shè)備之一。本文將介紹CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器使用方法,包括裝置和操作。
CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器安裝:
?。?)首先需要將進(jìn)口CVD氫氣發(fā)生器與氣瓶連接,確保氣瓶閥門已關(guān)閉。
?。?)然后,將其連接到CVD系統(tǒng)的氫氣入口,并根據(jù)需要設(shè)置適當(dāng)?shù)牧髁俊?/div>
?。?)再通過(guò)儀表或顯示器檢查管路和閥門是否正確連接并處于開(kāi)啟狀態(tài)。
CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器操作:
(1)在運(yùn)行CVD前,需要正確操作以確保正常供應(yīng)氫氣。
(2)首先,打開(kāi)氣瓶閥門,為其提供氣源,通常會(huì)聽(tīng)到氣體流動(dòng)聲音。
?。?)接下來(lái),按下電源開(kāi)關(guān),開(kāi)始進(jìn)行加熱,直到發(fā)生器中的電阻絲升至所需溫度,這通常需要花費(fèi)幾分鐘的時(shí)間。
?。?)然后,設(shè)定合適的工作壓力和氫氣流量,通常這些值都可以在CVD系統(tǒng)手冊(cè)或設(shè)備樣品介紹里找到。
?。?)再檢測(cè)輸出的氫氣質(zhì)量,并觀察儀表或顯示屏上讀數(shù)是否穩(wěn)定。在出現(xiàn)故障前提醒間隔時(shí)間內(nèi),及時(shí)更換氫氣瓶,并維護(hù)好設(shè)備。
CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器使用時(shí)需注意以下安全事項(xiàng):
?。?)操作和使用該設(shè)備的人員必須具備應(yīng)有的專業(yè)知識(shí),遵循相關(guān)操作規(guī)程。一旦發(fā)生意外,請(qǐng)及時(shí)停止氫氣發(fā)生反應(yīng)、關(guān)閉氫氣瓶閥門并遠(yuǎn)離裝置。
?。?)在操作期間,需要將氫氣發(fā)生器安置于通風(fēng)的場(chǎng)所,并確保室內(nèi)沒(méi)有明火或其他可能導(dǎo)致火災(zāi)的危險(xiǎn)元素。
?。?)長(zhǎng)期不使用該設(shè)備時(shí),應(yīng)關(guān)閉氫氣瓶閥門,切斷氣源,并進(jìn)行適當(dāng)保養(yǎng)。
通過(guò)本文,我們?cè)敿?xì)掌握了進(jìn)口CVD氫氣發(fā)生器的使用方法和安全注意事項(xiàng)。只有正確、安全合理的操作才能保證我們得到質(zhì)量穩(wěn)定,性能好的化學(xué)氣相沉積片材產(chǎn)品。